(57) 요 약
본 발명은 반도체 이온 주입 검사 장치의 위치 제어 검증 방법에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 반도체에 이온을 주입하는 매니플레이터에 이용되는 모터의 최초 위치값이 변동된 경우에 최초 위치값으로 보정할 수 있고, 모터가 기설정된 오차 범위 안에서 구동하는지를 판별하여 구동시에 이상 여부를 판별할 수 있는 반도체 이온 주입을 위한 매니플레이터의 위치 제어 검증 방법을 제공하는 데 있다.
이를 위해 매니플레이터에 회전각위치검출용도의 홀센서가 장착된 모터를 결합시키는 모터결합단계;를 포함하는 반도체 이온 주입을 위한 매니플레이터의 위치 제어 검증 방법에 있어서, 상기 모터를 제어하는 제어부를 동기화 시켜 상기 모터의 회전에 관한 제어권한을 획득하는 모터제어권한 획득단계; 상기 홀센서의 회전각위치정보를 검출하도록 상기 모터의 홀센서를 동기화시키는 홀센서동기화 단계; 상기 모터를 제조시에 측정하여 제공되는 기준스펙으로써, 특정 회전속도로 회전하는 경우에 측정된 소비전류와 열시정수가 상기 모터의 제어부에 입력되도록 기준테스트신호값들을 전송하는 모터 구동상태 설정단계; 및, 상기 모터를 상기 기준테스트신호값들로 구동시킨 상태에서, 상기 홀센서로부터 상기 모터의 회전각위치를 지속적으로 검출한 후 상기 회전각위치로부터 속도를 연산하여 상기 모터가 정속으로 회전하는지를 검출한 후, 모터가 상기 기준테스트신호값의 기준속도로 정속 회전하도록 유지한 상태에서 상기 소비전류를 지속적으로 보정하여 오차범위가 최소화되는 최소오차 소비전류를 검출하는 모터튜닝단계; 를 포함하는 반도체 이온 주입을 위한 매니플레이터의 위치 제어 검증 방법을 개시한다.