|
|
|
 |
작성일 : 14-05-16 10:50
출원자 : 주식회사 에이아이오코리아
 조회 : 1,039 |
| 출원번호 : 1020140041156 |
| 출원일자 :
20140407 |
| 등록번호 :
101392842 |
| 등록일자 : 20140430 |  1020140041156.pdf (1.0M) [5] DATE : 2014-05-16 10:50:32 |
(57) 요 약
본 발명은 포토레지스트 절감 시스템에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 포토레지스트 용기를 교체
한 이후에, 빈 배관에 포토레지스트를 공급한 상태에서 포토레지스트를 드레인단으로 배출하는 과정을 생략하여
도, 빈 배관내에 포토레지스트를 채운 상태로 이용할 수 있도록 하는 포토레지스트 절감 시스템을 제공하는데 있
다.
그에 따른 본 발명의 포토레지스트 절감 시스템은 포토레지스트를 수용하는 제1용기; 포토레지스트에 포함된 기
포를 감지하는 제1버퍼탱크; 상기 제1용기와 연결되어 상기 제1용기에 가압가스를 주입하는 제1가압가스주입관;
상기 제1용기와 상기 제1버퍼탱크를 연결하여 상기 제1용기내의 포토레지스트를 상기 제1버퍼탱크로 주입되도록
하는 제1연결관; 상기 제1버퍼탱크에 연결되어 상기 제1버퍼탱크에 유입되는 포토레지스트 기포를 배출하는 제1
벤트밸브; 포토레지스트를 수용하는 제2용기; 포토레지스트에 포함된 기포를 저장하는 제2버퍼탱크; 상기 제2용
기와 연결되어 상기 제2용기에 가압가스를 주입하는 제2가압가스주입관; 상기 제2용기와 상기 제2버퍼탱크를 연
결하여 상기 제2용기내의 포토레지스트를 상기 제2버퍼탱크로 주입되도록 하는 제2연결관; 상기 제2버퍼탱크에
연결되어 상기 제2버퍼탱크에 유입되는 포토레지스트 기포를 배출하는 제2벤트밸브; 포토레지스트를 펌핑하기 위
한 포토레지스트 펌프; 상기 포토레지스트 펌프와 연결되는 제1포트와 상기 제1버퍼탱크와 상기 포토레지스트 펌
프 사이에 연결되는 제1밸브 및 상기 제2버퍼탱크와 상기 포토레지스트 펌프 사이에 연결되는 제2밸브를 구비하
며, 상기 제1밸브가 개구되는 경우 상기 제1버퍼탱크와 상기 포토레지스트 펌프를 연결시키고, 상기 제2밸브가
개구되는 경우 상기 제2버퍼탱크와 상기 포토레지스트 펌프를 연결시키는 제1전환밸브; 상기 제1벤트밸브와 상기
제2벤트밸브 사이에 연결되어 상기 제1벤트밸브와 상기 제2벤트밸브에서 유출되는 포토레지스트를 입력받는 분기
관(MANIFOLD); 상기 분기관에 연결되는 배출배관; 일단이 상기 제1용기와 연결되는 제1우회관; 일단이 상기 제2
용기와 연결되는 제2우회관; 상기 배출배관에 연결되는 제2포트와 상기 제1우회관에 연결되는 제3밸브 및 상기
제2우회관에 연결되는 제4밸브를 구비하며, 상기 제3밸브가 개구되는 경우 상기 제1용기와 상기 배출배관을 연결
시키고, 상기 제4밸브가 개구되는 경우 상기 제2용기와 상기 배출배관을 연결시키는 제2전환밸브; 및, 상기 제2
전환밸브와 전기적으로 연결되어 상기 제3밸브와 상기 제4밸브의 개폐동작을 제어하는 제어부; 를 포함하며, 상
기 제1용기의 교체시 상기 제1가압가스주입관의 가압가스에 의해 가압되어 포토레지스트를 상기 제1버퍼탱크와
상기 제1벤트밸브와 상기 분기관으로 유입시키게 되고, 상기 제어부는 상기 제1벤트밸브 및 상기 제4밸브를 개구
시켜 상기 분기관으로 유입된 포토레지스트가 상기 제2우회관을 통해 상기 제2용기로 유입되도록 하는 것을 특징
으로 한다.
|
|
|
